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[所属栏目: 学科硬件]
DZS-500型电子束蒸发镀膜系统
2014-04-01 16:39 徐飞   

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

技术指标

型号

DZS-500

结构形式

真空室采用U型箱体前开门,后置抽气系统

真空室

500x500 x600mm

真空系统配置

复合分子泵、机械泵、闸板阀

极限压力

≤6.67x10-5Pa (经烘烤除气后)

恢复真空时间

45分钟可达到6.67x10-4Pa

电子束蒸发源

e型电子枪

阳极电压:6kv、8kv

数量(套)

1

坩埚

水冷式坩埚,四穴设计,每个容量11ml

功率

0-6KW可调

工件架类型及尺寸

基片尺寸:可放置4″基片加热最高温度800°C±1°C基片可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm可调 手动控制样品挡板组件1套

气路系统

质量流量控制器1路

石英晶振膜厚控制仪

监测膜厚显示范围:0-99μ9999Å

图 片:

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