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[所属栏目: 学科硬件]
高能气体离子源
2014-04-01 16:44 徐飞   

仪器名称:高能气体离子源 型号:Kaufman-100

仪器技术指标:

² 引出栅口径:Φ100 mm; 引出电压:10 kV~100 kV连续可调;

² 离子束流:1~8 mA连续可调; 工作距离:到样品台的距离为523 mm; 离子束斑直径≥Φ100 mm;

² 工作真空度:5×10-3Pa~1×10-2Pa; 采用1路质量流量计和高真空截止阀,实现对离子源的供气;

² 适用气体:惰性气体(氩气、氦气),氮气,氢气,甲烷,乙炔等。

高能气体离子束源是利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离,并通过电场加速离子,从而获得的高能量离子束的装置,与离子束镀膜装置组合,具有单元离子注入、多元离子注入、离子注入与沉积的复合等功能。已广泛应用于航空航天、生物医学、半导体、机械制造等领域的精密部件的表面改性处理,显著改善材料表面的耐磨、耐蚀、抗疲劳、降低摩擦系数或改善生物效应等性能,起到表面强化作用,获得优异的表面性能。

图 片:

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